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タイトル: 3 次元LSI 実装のためのTSV 技術の研究開発動向
著者: 吉永, 孝司
野村, 稔
Yoshinaga, Takashi
Nomura, Minoru
ヨシナガ, タカシ
ノムラ, ミノル
研究領域: 科学技術予測・科学技術動向
科学技術動向
発行日: 1-4月-2010
出版者: 科学技術政策研究所 科学技術動向研究センター
掲載誌情報: 科学技術動向. 2010, 109, p. 23-34.
資料の種類・番号/レポート番号: 科学技術動向;109
URI: http://hdl.handle.net/11035/2133
ISSN: 1349-3663
出現コレクション:2010年04月

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